一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法

摘要

本发明提供了一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法，所述进样装置包括：储存高纯六氟化硫气体的钢瓶，具有用于打开和关闭钢瓶出气口的钢瓶阀门；经由所述钢瓶阀门连通所述钢瓶的供气管路；连接所述供气管路的出口的放空阀；用于将来自所述供气管路的高纯六氟化硫气体供应给分析仪器的仪器接口；用于将所述供气管路与所述仪器接口连通或断开的供气阀门。通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，使所述供气管路内和仪器接口内的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换；接通所述仪器接口与分析仪器之间的管线，对所述分析仪器进行气体输送。应用本发明进样方法对样品气体进行检测，分析时间缩短了50％，极大提高工作效率。

主权项

一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法，其特征在于，所述进样装置包括：储存高纯六氟化硫气体的钢瓶，具有用于打开和关闭钢瓶出气口的钢瓶阀门；经由所述钢瓶阀门连通所述钢瓶的供气管路；连接所述供气管路的出口的放空阀；用于将来自所述供气管路的高纯六氟化硫气体供应给分析仪器的仪器接口；用于将所述供气管路与所述仪器接口连通或断开的供气阀门；所述进样方法包括：1)通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，使所述供气管路内的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换；2)在所述供气管路的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换后，通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，用所述高纯六氟化硫气体置换所述仪器接口中的气体；3)在所述仪器接口中的气体被所述高纯六氟化硫气体置换后，调节所述供气阀门控制仪器接口的出气压力，接通所述仪器接口与分析仪器之间的管线，对所述分析仪器进行气体输送。