发明名称 |
CMOS图像传感器 |
摘要 |
光传感器件与薄膜绝缘体上硅(TF‑SOI)或薄膜绝缘体上锗(TF‑GeOI)衬底上的CMOS器件单片集成。光电二极管活动层被外延地生成在衬底的正面,在完全处理衬底正面以后,埋入的绝缘体(埋入的氧化物)下的衬底材料被去除。然后单片集成的衬底被制造在埋入的氧化物的背面。然后背面被粘合到一个对感兴趣的波长透明的新的衬底。例如,石英、蓝宝石、玻璃或塑料适合于可见光范围。从而允许了传感器矩阵的背面光照,光穿过在与产生CMOS的一侧相对的衬底的背面上制造的结构。 |
申请公布号 |
CN1723572B |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
申请号 |
CN200380105462.X |
申请日期 |
2003.12.09 |
申请人 |
量子半导体有限公司 |
发明人 |
卡洛斯·J·R·P.·奥古斯托 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
马浩 |
主权项 |
制造允许背面光照的CMOS图像传感器的工艺方法,包括以下步骤:(a)选择一个薄膜绝缘体上硅TF‑SOI或薄膜绝缘体上锗TF‑GeOI衬底,其中TF‑SOI或TF‑GeOI衬底中的绝缘体是一层埋入的氧化物,(b)在TF‑SOI或TF‑GeOI衬底的正面制造CMOS器件并外延地生成光电二极管层,(c)在TF‑SOI或TF‑GeOI衬底的正面,在光电二极管层之上制造密集金属互连,(d)在完全处理TF‑SOI或TF‑GeOI衬底的正面之后,去除埋入的氧化物下的衬底,(e)在埋入的氧化物的与所述TF‑SOI或TF‑GeOI衬底的正面表面相反的背面表面制造单片集成的结构,(f)将背面粘合到一个对所需要的波长透明的新的机械衬底。 |
地址 |
美国加利福尼亚 |