发明名称 Method for producing semiconductor structures from the three-component AIII BV compounds
摘要
申请公布号 PL223957(B1) 申请公布日期 2016.11.30
申请号 PL20140407342 申请日期 2014.02.27
申请人 INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ 发明人 GUTOWSKI PIOTR;KUBACKA-TRACZYK JUSTYNA;SANKOWSKA IWONA
分类号 H01L21/00;G01N23/083;H01L21/18;H01L29/06 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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