发明名称 |
Method for producing semiconductor structures from the three-component AIII BV compounds |
摘要 |
|
申请公布号 |
PL223957(B1) |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
申请号 |
PL20140407342 |
申请日期 |
2014.02.27 |
申请人 |
INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ |
发明人 |
GUTOWSKI PIOTR;KUBACKA-TRACZYK JUSTYNA;SANKOWSKA IWONA |
分类号 |
H01L21/00;G01N23/083;H01L21/18;H01L29/06 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|