压电致动器器件和其制造方法

摘要

压电致动器器件具备：振动部和构成为使振动部振动的驱动部。振动部具有：振动的下部振动层和与下部振动层的上表面结合且与下部振动层一起振动的上部振动层。驱动部具有：设于下部振动层的下表面的上部电极层、设于上部电极层的下表面的压电体层和设于压电体层的下表面的下部电极层。振动部的下部振动层的主成分为有机材料。振动部的上部振动层的主成分为无机材料。下部振动层的纵弹性系数小于上部振动层的纵弹性系数。该压电致动器器件能不使尺寸和消耗电力增大地使抗干扰振动性和振动部的挠曲量较大。

主权项

一种压电致动器器件，具备振动部和驱动部，所述振动部具有：振动的下部振动层；和与所述下部振动层的上表面结合且与所述下部振动层一起振动的上部振动层，所述驱动部具有：设于所述下部振动层的下表面的上部电极层；设于所述上部电极层的下表面的压电体层；和设于所述压电体层的下表面的下部电极层，所述驱动部构成为使所述振动部振动，所述振动部的所述下部振动层的主成分为有机材料，所述振动部的所述上部振动层的主成分为无机材料，所述下部振动层的纵弹性系数小于所述上部振动层的纵弹性系数，所述下部振动层由包含所述有机材料的一种以上的第1有机材料和一种以上的第1无机材料构成，在所述下部振动层中，所述下部振动层的所述一种以上的第1有机材料的体积比率的合计为1/3以上，且大于所述下部振动层的所述一种以上的第1无机材料各自的体积比率，或者，所述上部振动层由包含所述无机材料的一种以上的第2无机材料和一种以上的第2有机材料构成，在所述上部振动层中，所述上部振动层的所述一种以上的第2无机材料的体积比率的合计为1/3以上，且大于所述上部振动层的所述一种以上的第2有机材料各自的体积比率。