| 发明名称 | 压印装置以及物品制造方法 | ||
| 摘要 | 根据本发明的第一方面，提供了一种压印装置，用于使模具与施加在基片上的树脂接触，以便执行在基片上形成图形，所述压印装置包括：分配器，所述分配器构造成将树脂施加在基片上；以及树脂供给单元，所述树脂供给单元构造成将树脂供给至分配器，其中，所述树脂供给单元包括：树脂储存储罐，所述树脂储存储罐构造成储存树脂；泵，所述泵构造成使树脂在所述树脂储存储罐和分配器之间连续循环；以及过滤器，所述过滤器布置在被循环的树脂的流动通路处，并构造成除去异物或金属离子。还提供了一种物品制造方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106168736A | 申请公布日期 | 2016.11.30 |
| 申请号 | CN201610325478.0 | 申请日期 | 2016.05.17 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | V·N·特拉斯凯特;宫岛义一;M·S·沙夫兰;李索尔 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 柳爱国 |
| 主权项 | 一种压印装置，用于使模具与施加在基片上的树脂接触，以便执行在基片上形成图形，所述压印装置包括：分配器，所述分配器构造成将树脂施加在基片上；以及树脂供给单元，所述树脂供给单元构造成将树脂供给至分配器，其中，所述树脂供给单元包括：树脂储存储罐，所述树脂储存储罐构造成储存树脂；泵，所述泵构造成使树脂在所述树脂储存储罐和分配器之间连续循环；以及过滤器，所述过滤器布置在被循环的树脂的流动通路处，并构造成除去异物或金属离子。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||