防尘薄膜组件以及其安装方法

摘要

本发明的目的为提供一种防尘薄膜组件，即使离焦距离小，防尘薄膜组件框架的刚性低，也可容易地处理，从防尘薄膜组件收纳容器安全取出，从而可以无缺陷地向光掩模等贴附的防尘薄膜组件以及其安装方法。本发明的防尘薄膜组件，在防尘薄膜组件框架11的防尘薄膜接着层侧设置可装可卸的防尘薄膜组件支持装置20的同时，离焦距离/外尺寸对角长的值为0.0001～0.003。再者，防尘薄膜组件支持装置20，由平板状或者框状的支持体16构成，通过在支持体16被设置的微粘着性物质，在防尘薄膜组件框架11的防尘薄膜接着层侧可装可卸地设置。

主权项

一种防尘薄膜组件，其特征在于，防尘薄膜组件框架的防尘薄膜接着层侧设置有可装可卸的防尘薄膜组件支持装置，离焦距离/外尺寸对角长的值为0.0001～0.003。