发明名称 |
一种三维结构的柔性有机场效应晶体管 |
摘要 |
本实用新型提供的一种三维结构的柔性有机场效应晶体管,包括第一源电极(101)、第二源电极(102)、第一漏电极(201)、第二漏电极(202)、电极延伸层(203)、第一有机半导体层(301)、第二有机半导体层(302)、第一绝缘层(401)、第二绝缘层(402)、栅电极(5)、柔性衬底(6)。由于平面结构的场效应在降低沟道长度上受到了限制,我们采用垂直沟道制备的有机场效应晶体管,这种结构的长效应晶体管沟道长度是由有机半导体层厚度决定的,而有机半导体层是采用蒸发的技术制备而成,这种方式形成的薄膜均匀性好,厚度最小能达到几个纳米,由于沟道长度的大幅度降低,源漏电流可以明显的得到提高。 |
申请公布号 |
CN205752256U |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
申请号 |
CN201620045172.5 |
申请日期 |
2016.01.14 |
申请人 |
中国计量学院 |
发明人 |
钱宏昌;唐莹;韦一;彭应全;杨玉环 |
分类号 |
H01L51/05(2006.01)I;H01L51/40(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/05(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种三维结构的柔性有机场效应晶体管,其特征在于,包括第一源电极(101)、第二源电极(102)、第一漏电极(201)、第二漏电极(202)、电极延伸层(203)、第一有机半导体层(301)、第二有机半导体层(302)、第一绝缘层(401)、第二绝缘层(402)、栅电极(5)、柔性衬底(6);其中:柔性衬底、栅电极、第二绝缘层依次叠加组成,电极延伸层和第二漏电极分别位于第二绝缘层上方两侧,且电极延伸层和第二漏电极相连接;第二有机半导体层和第二源电极依次位于第二漏电极上方,且第二有机半导体层和第二源电极的宽度与第二漏电极相同;第一绝缘层覆盖在电极延伸层、第二有机半导体层和第二源电极上方;第一有机半导体层位于第一绝缘层上方,第一源电极和第一漏电极分别位于第一有机半导体层上方两侧。 |
地址 |
310018 浙江省杭州市江干区学源街258号 |