发明名称 |
一种光伏硅片均匀刻蚀装置 |
摘要 |
本实用新型公开一种光伏硅片均匀刻蚀装置,包括控制终端、进料口、刻蚀槽、硅片清洗喷头、碱洗槽、去PSG槽、分刀式吹干机和出料口,控制终端底侧设有进料口,进料口与刻蚀槽固定连接,刻蚀槽内安装有硅片清洗喷头,刻蚀槽一端与碱洗槽固定连接,碱洗槽一端与去PSG槽固定连接,去PSG槽一端与分刀式吹干机连接,分刀式吹干机一端设置有出料口,本实用新型适应性强,表面刻蚀均匀性好、对硅片损伤少,几乎适用于所有的金属、玻璃、塑料等材料,相对于传统的刻蚀系统,本实用新型通过控制终端收集数据,对收集到的数据进行分析,通过调整刻蚀均匀系统调整刻蚀均匀性,有效地提高工作效率,具有良好的经济效益和社会效益,适宜推广使用。 |
申请公布号 |
CN205752214U |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
申请号 |
CN201620458600.7 |
申请日期 |
2016.05.13 |
申请人 |
合肥晶为太阳能科技有限公司 |
发明人 |
刘仕记 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种光伏硅片均匀刻蚀装置,包括控制终端(1)、进料口(2)、刻蚀槽(3)、硅片清洗喷头(4)、碱洗槽(5)、去PSG槽(6)、分刀式吹干机(7)和出料口(8),其特征在于,所述控制终端(1)底侧设有进料口(2),所述进料口(2)与刻蚀槽(3)固定连接,所述刻蚀槽(3)内安装有硅片清洗喷头(4),所述刻蚀槽(3)一端与碱洗槽(5)固定连接,所述碱洗槽(5)一端与去PSG槽(6)固定连接,所述去PSG槽(6)一端与分刀式吹干机(7)连接,所述分刀式吹干机(7)一端设置有出料口(8)。 |
地址 |
230012 安徽省合肥市新站区佳海工业园C区52栋 |