| 发明名称 |
PREPARING METHOD OF POLISHING PAD |
| 摘要 |
본원은, 중합체 수지 용액과 승화성 물질을 사용하여 기공을 형성하는 연마 패드의 제조 방법에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR20160136735(A) |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
| 申请号 |
KR20150070673 |
申请日期 |
2015.05.20 |
| 申请人 |
FNS TECH CO., LTD. |
发明人 |
KIM, PAL KON;OH, SEUNG TAEK |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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