一种提高微机电系统压力传感器过载能力的方法

摘要

一种提高微机电系统压力传感器过载能力的方法，在保证传感器满量程范围内线性响应的前提下，根据量程、过载要求确定压力敏感腔体高度后，通过调整压力敏感弹性膜片的长度、宽度、以及膜片厚度，能够显著改变传感器的过载能力，同时还可以保证传感器的灵敏度不变小，即通过合理选择弹性膜的片尺寸提高压力传感器的过载能力。在没有增加工艺步骤和生产成本的前提下，只是通过优化了敏感结构的尺寸，提高过载能力。为研制尺寸小、灵敏度高、过载能力强的压力传感器提供了有效途径。

主权项

一种提高微机电系统压力传感器过载能力的方法，其特征在于：在保证压力传感器满量程范围内线性响应的前提下，通过调整压力敏感弹性膜片尺寸，改变压力传感器的过载能力。