泡片盒

摘要

泡片盒。涉及晶片加工领域，尤其涉及用于晶片分离的泡片盒。提供了一种结构简单，降低晶片分离的泡片盒。所述盒体内设有HF溶液，所述HF溶液内设有晶片；还包括氮气机和摆板，所述氮气机的输气管管口设在盒体内，所述摆板摆动连接在所述盒体内，所述输气管的管口位于摆板的下方。所述摆板铰接连接在所述盒体的内侧壁，所述摆板与所述盒体的底面之间设有弹簧。还包括定时控制器，所述定时控制器用于控制氮气机。本实用新型方便加工，提高了工作效率。

主权项

泡片盒，包括盒体，所述盒体内设有HF溶液，所述HF溶液内设有晶片；其特征在于，还包括氮气机和摆板，所述氮气机的输气管管口设在盒体内，所述摆板摆动连接在所述盒体内，所述输气管的管口位于摆板的下方。