| 摘要 |
본 발명은 피듀셜 마크 인식 방법에 관한 것으로서, 기판의 부품 실장을 위한 기준점이 되는 피듀셜 마크를 인식하는 방법에 있어서, (a) 상기 기판의 피듀셜 마크를 촬영하는 단계; (b) 상기 촬영된 피듀셜 마크를 모델 패턴과 매칭시켜, 상기 모델 패턴의 직경을 산출하는 단계; (c) 소정의 검색 범위 내에서, 상기 촬영된 피듀셜 마크와 상기 산출된 직경을 갖는 모델 패턴을 매칭시켜, 상기 촬영된 피듀셜 마크의 중심을 검색하는 단계; (d) 상기 산출된 직경 및 검색된 중심을 기준으로, 상기 피듀셜 마크의 훼손된 파트의 적어도 일부를 복원하는 단계; 및 (e) 상기 훼손된 파트의 적어도 일부가 복원된 피듀셜 마크와 상기 산출된 직경을 갖는 모델 패턴을 재 매칭하여 상기 훼손된 파트의 적어도 일부가 복원된 피듀셜 마크의 중심을 재 검색하는 단계를 포함한다. |
