| 摘要 |
본 발명은 세라믹 부품용 파우더를 이용한 플라즈마 식각장치의 세라믹 부품 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 YO(이트리아), AlO(알루미나)을 포함하여 구성되는 세라믹 부품용 파우더를 이용한 플라즈마 식각장치용 세라믹 부품의 제조방법에 있어서, AlO(알루미나)분말과 SiO(석영)분말이 혼합된 분말 70~90질량%와, YO(이트리아)분말 10~30질량%로 배합하여 frit형태의 파우더(20)를 형성하여 세라믹 부품(10)의 표면에 분사한 후, 상기 파우더(20)가 분사된 세라믹 부품(10)을 1300~1600°C의 온도로 소성시켜 상기 파우더(20)가 녹으며 세라믹 부품(10)의 기공(11)으로 침투하여 매워주도록 제조함으로써, 소성 시 파우더가 녹으면서 부품에 형성된 기공을 채워주어 기계적 물성을 향상시키고, 파우더에는 이트리아가 포함되어 내 플라즈마 성을 향상할 수 있으며 무엇보다, 기존에 사용되는 반도체 장비 내부의 부품과 더불어 생산되어지는 반도체 장비 내부의 세라믹부품에 모두 적용이 가능하도록 하고 크랙이 발생되는 것을 방지하여 경제적 효율성을 높일 수 있는 유용한 발명인 것이다. |
