发明名称 |
喷嘴头,制造该喷嘴头的方法和具有该喷嘴头的液体供给设备 |
摘要 |
本发明涉及一种喷嘴头、一种制造所述喷嘴头的方法,并且包含:喷嘴头,其包含:喷嘴基板;喷嘴尖端,其从所述喷嘴基板的下表面朝下突起,并且有喷嘴孔朝上和朝下穿过所述喷嘴尖端;回避凹座,其形成在所述喷嘴尖端的外周上,并且从所述喷嘴基板的下表面朝向所述喷嘴基板的上表面凹陷;以及引入凹座,其形成在所述喷嘴基板的所述上表面上,以使得用于供给液体的管线联接到所述引入凹座。 |
申请公布号 |
CN106170876A |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
申请号 |
CN201580000944.1 |
申请日期 |
2015.07.30 |
申请人 |
韩国生产技术研究院 |
发明人 |
李相昊;申权容;姜景太;姜熙锡;黄晙泳;曹观铉;姜敃圭 |
分类号 |
H01L51/56(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L51/56(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;安利霞 |
主权项 |
一种喷嘴头,其包括:一喷嘴基板;一喷嘴尖端,其从所述喷嘴基板的下表面朝下突起,并且一喷嘴孔朝上和朝下穿过所述喷嘴尖端;一回避凹座,其形成在所述喷嘴尖端的外周上,并且从所述喷嘴基板的下表面朝向所述喷嘴基板的上表面凹陷;以及一引入凹座,其形成在所述喷嘴基板的所述上表面上,以使得用于供给液体的一管线联接到所述引入凹座。 |
地址 |
韩国忠清南道 |