发明名称 喷嘴头,制造该喷嘴头的方法和具有该喷嘴头的液体供给设备
摘要 本发明涉及一种喷嘴头、一种制造所述喷嘴头的方法,并且包含:喷嘴头,其包含:喷嘴基板;喷嘴尖端,其从所述喷嘴基板的下表面朝下突起,并且有喷嘴孔朝上和朝下穿过所述喷嘴尖端;回避凹座,其形成在所述喷嘴尖端的外周上,并且从所述喷嘴基板的下表面朝向所述喷嘴基板的上表面凹陷;以及引入凹座,其形成在所述喷嘴基板的所述上表面上,以使得用于供给液体的管线联接到所述引入凹座。
申请公布号 CN106170876A 申请公布日期 2016.11.30
申请号 CN201580000944.1 申请日期 2015.07.30
申请人 韩国生产技术研究院 发明人 李相昊;申权容;姜景太;姜熙锡;黄晙泳;曹观铉;姜敃圭
分类号 H01L51/56(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L51/56(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 许静;安利霞
主权项 一种喷嘴头,其包括:一喷嘴基板;一喷嘴尖端,其从所述喷嘴基板的下表面朝下突起,并且一喷嘴孔朝上和朝下穿过所述喷嘴尖端;一回避凹座,其形成在所述喷嘴尖端的外周上,并且从所述喷嘴基板的下表面朝向所述喷嘴基板的上表面凹陷;以及一引入凹座,其形成在所述喷嘴基板的所述上表面上,以使得用于供给液体的一管线联接到所述引入凹座。
地址 韩国忠清南道