发明名称 一种金球键合系统
摘要 本实用新型涉及一种金球键合系统,包括有:劈刀、烘烤装置、控制系统、温度传感器,所述控制系统与烘烤装置、劈刀以及温度传感器连接本实用新型利用控制系统控制烘烤装置,控制电阻加热的功率,降低了烘烤时间提高了产品的作业效率。
申请公布号 CN205752110U 申请公布日期 2016.11.30
申请号 CN201620403024.6 申请日期 2016.05.06
申请人 海太半导体(无锡)有限公司 发明人 张伟
分类号 H01L21/603(2006.01)I 主分类号 H01L21/603(2006.01)I
代理机构 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人 赵华
主权项 一种金球键合系统,包括有:劈刀、烘烤装置、控制系统、温度传感器,其特征在于:所述控制系统与烘烤装置、劈刀以及温度传感器连接。
地址 214000 江苏省无锡市高新区综合保税区K5、K6地块