| 发明名称 |
- POLYMER FOR SPIN ON CARBON HARDMASK AND COMPOSITION INCLUDING SAME |
| 摘要 |
본 발명은 스핀-온 카본 하드마스크용 중합체 및 이를 함유한 카본 하드마스크용 조성물에 관한 것이다. 본 발명은 비스페닐페놀 플루오렌계 단량체를 함유하되, 특정의 중량평균분자량의 요건을 충족한 중합체, 더욱 바람직하게는 상기 비스페닐페놀 플루오렌계 단량체에, 부가 단량체 성분과 중합반응된 중합체로 이루어진 스핀-온 카본 하드마스크용 유기재료를 제공하고, 상기 비스페닐페놀 플루오렌(fluorene)계 중합체가 우수한 광학적 특성이 있고, 동시에 기판상에 스핀코팅으로 도포 가능하므로, 상기 조성물을 이용하여 포토리소그래피 공정 후 반도체 초미세 패터닝 공정이 가능하다. |
| 申请公布号 |
KR20160136616(A) |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
| 申请号 |
KR20150070348 |
申请日期 |
2015.05.20 |
| 申请人 |
NC CHEM CORP. |
发明人 |
LEE, CHANG MIN;KIM, NAM SUN;JIN, YONG SUK;NAM, SEOK WOO;AHN, SANG JO;O, SO YEON |
| 分类号 |
G03F7/11;G03F7/004;G03F7/075;G03F7/09 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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