利用电喷雾工序的大面积石墨烯三维透明电极制造方法及由此制造的大面积石墨烯三维透明电极

摘要

本发明涉及利用电喷雾沉积法的大面积石墨烯三维透明电极制造方法及由此制造的大面积石墨烯三维透明电极，更具体地说，通过电喷雾工序，能够容易大面积地制造具有高的透明度和导电性的石墨烯透明电极，具有相对于基板沿垂直方向排列了石墨烯的三维层叠构造，因此能够确保在通过现有CVD等方法制造的二维透明电极中无法实现的效果。

主权项

一种大面积石墨烯三维透明电极的制造方法，其特征在于，包括：分别准备基板、导电性高分子溶液及石墨烯溶液的步骤；利用具有喷嘴的电喷雾装置，通过电喷雾工序在上述基板上喷射导电性高分子溶液和石墨烯溶液的步骤；以及干燥步骤，上述电喷雾装置具备：具有喷嘴的喷射器，该喷射器为了进行电喷雾而分别储藏导电性高分子溶液和石墨烯溶液；喷射泵，用于向上述喷射器供给导电性高分子溶液和石墨烯溶液；电位差产生装置，用于在基板与喷射器之间形成电场；以及台架，用于支撑使导电性高分子溶液和石墨烯溶液沉积的基板，形成在上述基板上的石墨烯相对于基板被垂直地排列，上述导电性高分子包含从由聚苯胺、聚吡咯、聚乙炔、聚噻吩、PED OT(聚3，4‑乙烯二氧噻吩)及它们的组合构成的组中选出的1种。