用于检查半导体晶片的X光检查设备

摘要

一种x光检查系统，包括：x光源(100)；用于支撑将被检查的样品的样品支撑件(200)，其中所述样品支撑件(200)包括在水平面中延伸的支撑表面；x光检测器(300)；和样品支撑件定位组件(210)，用于相对于所述x光源(100)或者x光检测器(300)定位所述样品支撑件(200)。其中所述样品定位组件(210)包括用于使所述样品支撑件(200)在与所述水平面正交的竖直方向中移动的竖直定位机构(214、216)，以及用于使所述样品支撑件(200)和所述竖直定位机构(214、216)在第一水平方向中移动的第一水平定位机构(216、218)。这种布置允许所述样品精确地移动至所述水平面内的不同成像位置，以及使用低功率竖直定位机构。

主权项

一种x光检查系统，包括：x光源；样品支撑件，所述样品支撑件用于支撑将被检查的样品，其中所述样品支撑件包括在水平面中延伸的支撑表面；x光检测器；和样品支撑件定位组件，所述样品支撑件定位组件用于相对于所述x光源或者x光检测器定位所述样品支撑件；其中所述样品定位组件包括：竖直定位机构，用于使所述样品支撑件在与所述水平面正交的竖直方向中移动；和第一水平定位机构，用于使所述样品支撑件和所述竖直定位机构在第一水平方向中移动。