Linear type Dielectric barrier discharge plasma source for surface treatment

摘要

본 발명은 유전체 장벽 방전 플라즈마 발생 장치를 제공하는 것이다. 이 유전체 장벽 방전 플라즈마 발생 장치는 제1 방향으로 연장되는 모서리를 포함하는 전원 전극; 상기 전원 전극의 하나의 모서리를 노출시키고 상기 전원 전극과 일정한 간격을 가지고 상기 제1 방향으로 연장되는 접지 전극; 상기 전원 전극과 상기 접지 전극 사이에 개재되고 상기 전원 전극의 모서리를 감싸도록 배치된 유전체 장벽층; 상기 전원 전극의 모서리 방향으로 가스를 분사하고 상기 제1 방향으로 일정한 간격을 배열되고 상기 접지 전극에 형성된 복수의 노즐; 및 상기 전원 전극에 교류 전력을 인가하는 교류 전원을 포함한다. 상기 전원 전극의 모서리 상에 유전체 장벽 방전을 수행한다.