Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung und Verfahren zum Korrigieren der sphärischen Aberration

摘要

Im Allgemeinen gibt es bei einer Multipollinse eines Aberrationskorrektors einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung nur eine Bedingung, die eingestellt werden kann, wobei sowohl eine Bedingung für die Korrektur der sphärischen Aberration als auch die magnetische Sättigung erfüllt sind. Daher können nicht mehrere Beschleunigungsspannungen behandelt werden. Folglich sieht die vorliegende Erfindung einen Korrektor für die sphärische Aberration vor, der den magnetischen Sättigungszustand für mehrere Aberrationskorrekturbedingungen durch selektives Magnetisieren mehrerer Polgruppen der Multipollinse entsprechend den Änderungen des Objektivlinsen-Magnetisierungsstroms erfüllt.