研磨材を中に有する印刷された化学機械研磨パッド

摘要

研磨パッドの研磨層を製造する方法は、研磨層のポリマーマトリクス内に埋め込まれるべき粒子の所望の分布を決定するステップを含む。ポリマーマトリクスの複数の層が、３Ｄプリンタを用いて連続的に堆積され、ポリマーマトリクスの複数の層の各層が、ポリマーマトリクス前駆体をノズルから放出することによって堆積される。粒子を含む複数の層が、所望の分布に従って３Ｄプリンタを用いて連続的に堆積される。ポリマーマトリクス前駆体は、粒子が所望の分布で埋め込まれているポリマーマトリクスへと固化される。