| 摘要 |
본 발명은 EUV 복사선(14)의 발생을 위해 목표 재료(13)가 목표 위치(Z)에 배치될 수 있는 진공 챔버(4), 그리고 구동 레이저 장치(2)로부터 상기 목표 위치(Z)를 향해 레이저 빔(5)을 안내하기 위한 빔 안내 챔버(3)를 포함하는 EUV 복사선 발생 장치(1)에 관한 것이다. 이러한 EUV 복사선 발생 장치(1)는 상기 진공 챔버(4)와 상기 빔 안내 챔버(3)의 사이에 배치되는 중간 챔버(18), 상기 빔 안내 챔버(3)로부터의 레이저 빔(5)의 유입을 위해 기밀 방식으로 상기 중간 챔버(18)를 밀봉하는 제 1 윈도우(19), 및 상기 진공 챔버(4)로의 레이저 빔(5)의 유출을 위해 기밀 방식으로 상기 중간 챔버(18)를 밀봉하는 제 2 윈도우(20)를 포함한다. 본 발명은 또한, EUV 복사선 발생 장치(1)를 작동시키기 위한 방법에 관한 것이다. |
