一种新型超低损耗微波介质陶瓷材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种新型超低损耗微波介质陶瓷材料及其制备方法，属于电子信息功能材料与器件技术领域。本发明陶瓷材料的化学通式为Li_2+a(Mg_1‑bX_b)₃YO₆·cZ，其中，X为Ca²⁺或Sr²⁺，Y为Ti⁴⁺、Sn⁴⁺或Zr⁴⁺，Z为MgO、ZnO、CaF₂中的任一种或其组合，0.03≤a≤0.15，0.01≤b≤0.04，0≤c≤0.15。本发明微波介质陶瓷材料的原料按照所述化学通式配料，经过第一次球磨混合，在980～1200℃下预烧，再经过第二次球磨混合，在1250～1400℃下烧结制成；其制成品的晶相为有序岩盐结构立方相。本发明提供的微波介质陶瓷材料在性能上实现了较大提升，其相对介电常数ε_r在8～20之间可调，品质因数Q×f值为92000GHz～153000GHz，同时，谐振频率温度系数τ_f满足‑23ppm/℃～+5ppm/℃，并且性能稳定，能够满足现代微波器件的应用需求。

主权项

一种新型超低损耗微波介质陶瓷材料，其特征在于，所述微波介质陶瓷材料的化学通式为Li_2+a(Mg_1‑bX_b)₃YO₆·cZ，其中，X为Ca²⁺或Sr²⁺，Y为Ti⁴⁺、Sn⁴⁺或Zr⁴⁺，Z为MgO，ZnO，CaF₂中的任一种或其组合，0.03≤a≤0.15，0.01≤b≤0.04，0≤c≤0.15。