一种转镜式MEMS可变光衰减器

摘要

本发明涉及一种转镜式MEMS可变光衰减器，包括输入光纤、输出光纤、双芯毛细管、准直透镜、长玻璃管、短玻璃管、TO管帽、MEMS芯片和TO管座；所述输入光纤和输出光纤沿所述双芯毛细管的光轴被封入所述双芯毛细管中；所述双芯毛细管和准直透镜的光轴相对准，并同时被固定封装在长玻璃管中，使得所述输入光纤、输出光纤、双芯毛细管、准直透镜和长玻璃管共同组成准直器；所述MEMS芯片设置于所述TO管帽和TO管座构成的密闭腔内，并与TO管座上的加电引脚电连接。本发明可以实现掉电时衰减保持为特定值5～15dB，且同时满足最小衰减小于0.8dB、最大可调衰减达到40dB以上的要求。通过对MEMS芯片气密封装，还可有效防止水汽渗透所带来不良的影响，并提高器件制造效率。

主权项

一种转镜式MEMS可变光衰减器，包括输入光纤(1)、输出光纤(2)、双芯毛细管(12)、准直透镜(13)、长玻璃管(14)、短玻璃管(15)、TO管帽(16)、MEMS芯片(6)和TO管座(8)；所述输入光纤(1)和输出光纤(2)沿所述双芯毛细管(12)的光轴被封入所述双芯毛细管(12)中；其特征在于：所述双芯毛细管(12)和准直透镜(13)的光轴相对准，并同时被固定封装在长玻璃管(14)中，使得所述输入光纤(1)、输出光纤(2)、双芯毛细管(12)、准直透镜(13)和长玻璃管(14)共同组成准直器；所述MEMS芯片(6)设置于所述TO管帽(16)和TO管座(8)构成的密闭腔内，并与TO管座(8)上的加电引脚(9)电连接。