具有内部致动器的微机械运动控制装置

摘要

本发明涉及具有内部致动器的微机械运动控制装置。所述装置(100)可包括外部框架(506)、平台(520)及运动控制机构(501、505、514、515、516)。所述运动控制机构可经调适以准许所述平台相对于所述外部框架在所要的方向上移动及抑制所述平台(520)相对于所述外部框架(506)的旋转。致动器(550)可至少部分包含在所述运动控制机构内。

主权项

一种致动器装置，其包括：平台，其经配置以支撑光学元件；多个致动器，其围绕且支撑所述平台，所述多个致动器和所述平台经布置以沿着同一平面；以及外部框架，其经布置以沿着所述同一平面且围绕所述多个致动器，其中所述多个致动器中的每一者包括：固定框架；可移动框架，其经配置以与所述固定框架协作以在垂直于所述同一平面的方向上移动所述平台；以及多个挠曲，其经配置以协作以在所述外部框架与所述可移动框架之间提供横向刚性和旋转刚性，其中经由所述挠曲中的一或多者而从安置于所述外部框架的电接触件施加电压以致动所述可移动框架。