一种晶圆清洗机

摘要

本实用新型涉及半导体清洗设备技术领域，具体公开了一种晶圆清洗机，包括相连通的清洗通道和烘干通道，该两通道内设有连续的传送装置，用于传送晶圆料盒连续的依次通过该两通道，烘干通道上设有送风装置，用于向烘干通道内送风，烘干通道设有出口封闭装置，包括控制器和与控制器连接的动力挡板、传感器，动力挡板设于烘干通道出口处，由控制器控制，能够封闭和打开该出口，传感器包括第一传感器和第二传感器，分别位于烘干通道内和烘干通道出口外，用于侦测在烘干通道出口内、外的晶圆料盒。本实用新型能够保证晶圆烘干需求的情况下，降低烘干用热风的使用量，节约送风机电能，降低晶圆清洗机周围环境的温度，提高人员工作环境舒适度。

主权项

一种晶圆清洗机，包括相连通的清洗通道（2）和烘干通道（3），该两通道内设有连续的传送装置（1），用于传送晶圆料盒（9）连续的依次通过该两通道，所述烘干通道（3）上设有送风装置（4），用于向烘干通道（3）内送风，其特征在于，所述烘干通道（3）设有出口封闭装置，包括控制器（10）和与控制器（10）连接的动力挡板、传感器，所述动力挡板设于烘干通道（3）出口处，由所述控制器（10）控制，能够封闭和打开该出口，所述传感器包括第一传感器（7）和第二传感器（8），分别位于烘干通道（3）内和烘干通道（3）出口外，用于侦测在烘干通道（3）出口内、外的晶圆料盒（9）；所述第一传感器（7）侦测到晶圆料盒（9）时，将其侦测信号发送至所述控制器（10），所述控制器（10）控制动力挡板打开烘干通道（3）出口，所述第二传感器（8）侦测到晶圆料盒（9）时，将其侦测信号发送至所述控制器（10），所述控制器（10）控制动力挡板封闭烘干通道（3）出口。