发明名称 一种新型半导体元件直接自动上料机构
摘要 本实用新型涉及一种新型半导体元件直接自动上料机构,包括底板、过料块、过料块支撑座、材料分离机构、吸料块、检测机构、安全打开机构。其特征在于:所述材料分离机构包括分离针导向块及分离针机构,所述过料块安装在所述过料块支撑座上,所述吸料块与所述检测机构固定在所述材料分离机构上,所述材料分离机构、所述安全打开机构与所述过料块支撑座都安装在所述底板上,构成完整的新型半导体元件直接自动上料机构。采用从过料块直接将半导体元件转移至下一工序的机构中,并带有安全打开机构和检测机构,结构简单,上料速度更快,更符合目前电子元器件的制作工艺,应用性更广。
申请公布号 CN205723482U 申请公布日期 2016.11.23
申请号 CN201620402037.1 申请日期 2016.05.06
申请人 深圳市华腾半导体设备有限公司 发明人 蔡建镁;刘骏;黄新青;齐建
分类号 H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种新型半导体元件直接自动上料机构,包括底板、过料块、过料块支撑座、材料分离机构、吸料块、检测机构、安全打开机构,其特征是:所述材料分离机构包括分离针导向块及分离针机构,所述过料块安装在所述过料块支撑座上,所述检测机构固定在所述材料分离机构上,所述材料分离机构、所述安全打开机构与所述过料块支撑座都安装在所述底板上,构成完整的新型自动上料机构。
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