| 摘要 |
본 발명은 배선 형성 방법 및 이를 이용한 액정표시장치에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 기판 상에 제 1 금속막을 형성하는 단계, 금속막 상에 네가티브 감광막을 도포하고 노광 및 현상 공정을 진행하여 역테이퍼 구조를 갖는 감광막 패턴을 형성하는 단계, 감광막 패턴이 형성된 기판 상에 제 2 금속막을 형성하는 단계, 감광막 패턴을 마스크로 식각하여 감광막 패턴 하부에 감광막 패턴과 맞닿은 하측면의 폭보다 폭이 좁은 제 1 배선을 형성하고 제 1 금속막 상에 구비된 제 2 금속막을 마스크로 식각하여 제 2 금속막 하부에 제1 금속막 상에 형성된 제 2 금속막의 폭보다 폭이 좁은 제 2 배선을 형성하는 단계, 제 2 금속막을 제거하는 단계, 감광막 패턴을 제거하는 단계를 포함함으로써 기존 사용되는 마스크와 노광 장비에 의해 형성할 수 있는 배선 폭보다 좁은 폭을 갖는 배선 또는 전극을 형성할 수 있는 배선 형성 방법 및 이를 이용한 액정표시장치에 관한 것이다. |
