压印方法以及压印装置

摘要

本发明的目的在于提高压印的脱模性并使微小图案的转印品质稳定。其特征在于，包括：树脂涂敷工序，在将基板(21)的背面贴附于粘贴片材(28)的状态下，以覆盖基板的表面且在基板的外周伸出而与粘贴片材接触的方式涂敷光固化树脂(22)；预先固化工序，通过从基板的背面侧照射光，使与粘贴片材接触的光固化树脂固化；加压工序，将在模具(24)上形成的微小图案按压于基板的表面上的光固化性树脂；固化工序，通过从基板的表面侧照射光，使基板的表面上的光固化树脂固化；以及脱模工序，通过从在粘贴片材上发生了固化的位置进行剥离，将模具从光固化树脂脱模。

主权项

一种压印方法，其特征在于，所述压印方法包括：树脂涂敷工序，在该树脂涂敷工序中，在将基板的背面贴附于粘贴片材的状态下，以如下方式涂敷光固化树脂：所述光固化树脂覆盖所述基板的表面且在所述基板的外周伸出而与所述粘贴片材接触；预先固化工序，在该预先固化工序中，通过从所述基板的背面侧照射光，使与所述粘贴片材接触的光固化树脂固化；加压工序，在该加压工序中，将在模具上形成的微小图案按压于所述基板的表面上的光固化性树脂；固化工序，在该固化工序中，通过从所述基板的表面侧照射光，使所述基板的表面上的光固化树脂固化；以及脱模工序，在该脱模工序中，通过从在所述粘贴片材上发生了固化的位置进行剥离，将所述模具从所述光固化树脂脱模。