支撑柱、微型集音器、CMOS麦克风单晶片及制造方法

摘要

一种支撑柱，形成于一可动薄膜下方，用以支撑该可动薄膜，包含：数个第一微形金属柱、基底金属连接柱层与第一氧化包覆层。其中，第一微形金属柱形成于可动薄膜下方，并与可动薄膜形成金属导接；基底金属连接柱层形成于第一微形金属柱下方，与第一微形金属柱导接；第一氧化包覆层完全或部分包覆第一微形金属柱而使第一微形金属柱与空气绝缘而可使支撑柱形成柱状。

主权项

一种支撑柱，形成于一可动薄膜下方，用以支撑该可动薄膜，包含：数个第一微形金属柱，形成于该可动薄膜下方，并与该可动薄膜形成金属导接；一基底金属连接柱层，形成于该些第一微形金属柱下方，与该些第一微形金属柱导接；及一第一氧化包覆层，完全或部分包覆该些第一微形金属柱而使该些第一微形金属柱与空气绝缘而可使该支撑柱形成柱状。