| 发明名称 | 钼钛靶材的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种钼钛靶材的制造方法，包括：提供钼粉和钛粉；将所述钼粉和所述钛粉进行混合，形成混合粉末；采用保温温度为1200℃～1300℃的真空热压工艺将所述混合粉末制成钼钛靶材坯料；将所述钼钛靶材坯料制成钼钛靶材。本发明通过采用真空热压工艺，将经过混合的钼粉和钛粉制成钼钛靶材，而且1200℃～1300℃的保温温度有利于钼原子和钛原子的扩散，因此能够有效的降低所制成钼钛靶材内部的空隙率，提高靶材的致密度和强度。所以本发明的制造方法能够获得致密度大于或等于99％的高致密度钼钛靶材，并且所获得的钼钛靶材微观结构均匀，能够满足磁控溅射对靶材纯度和密度的要求。 | ||
| 申请公布号 | CN106148903A | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201510195487.8 | 申请日期 | 2015.04.22 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;段高林 |
| 分类号 | C23C14/30(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 高静;吴敏 |
| 主权项 | 一种钼钛靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供钼粉和钛粉；将所述钼粉和所述钛粉进行混合，形成混合粉末；采用保温温度为1200℃～1300℃的真空热压工艺将所述混合粉末制成钼钛靶材坯料；将所述钼钛靶材坯料制成钼钛靶材。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 | ||