移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法

摘要

基板载台装置(20)具备能移动于Y轴方向的X柱(24)、设于X柱(24)而能与该X柱(24)一起移动于Y轴方向且能相对X柱(24)移动于X轴方向的粗动载台(26)、保持基板(P)且被粗动载台(26)诱导移动于X轴及/或Y轴方向的微动载台(28)、以及分别配置于X柱(24)的+Y侧及‑Y侧而从下方支承微动载台(28)的+Y侧及‑Y侧区域且能与该微动载台(28)一起移动于Y轴方向的一对步进导件(30)。

主权项

一种移动体装置，其特征在于，具备：第1移动体，可在沿与水平面平行的二维平面内的第1方向的位置移动；第2移动体，设于所述第1移动体，能与所述第1移动体一起在沿所述第1方向的位置移动，且能相对所述第1移动体沿在所述二维平面内与所述第1方向正交的第2方向的位置移动；物体保持构件，保持物体，被所述第2移动体诱导而沿所述二维平面移动；第1导引构件，在所述第1方向配置于所述第1移动体一侧，从下方支承在所述物体保持构件沿所述第2方向移动时所述物体保持构件在所述第1方向的一侧区域，且能与所述物体保持构件一起沿所述第1方向移动；第2导引构件，在所述第1方向配置于所述第1移动体另一侧，从下方支承在所述物体保持构件沿所述第2方向移动时所述物体保持构件在所述第1方向的另一侧区域，且能与所述物体保持构件一起沿所述第1方向移动；以及连结构件，将所述第1移动体与所述第1及第2导引构件物理性连结；所述第1移动体，通过所述连结构件使支承所述物体保持构件的第1及第2导引构件在所述第1方向移动。