一种前后电极石墨舟及化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种前后电极石墨舟，包括：由均匀间隔设置的奇数石墨片和偶数石墨片构成的舟体，奇数石墨片和偶数石墨片通过石墨棒串接，舟体的前端底部设有至少一个前导电石墨块，舟体的后端底部设有至少一个后导电石墨块。本实用新型还提出了一种使用上述前后电极石墨舟的化学气相沉积设备。本实用新型在舟体的前后两端分别设有导电石墨，正负电极杆通过与导电石墨接触，从舟体的前后两端引入正负极，使舟体产生的电场均匀。

主权项

一种前后电极石墨舟，包括：由均匀间隔设置的奇数石墨片（11）和偶数石墨片（12）构成的舟体（1），所述奇数石墨片（11）和偶数石墨片（12）通过石墨棒串接，其特征在于，所述奇数石墨片（11）的前端底部设有向前伸出的前端下耳片（110），相邻的前端下耳片（110）之间贴合设有前端下隔块（13）或前导电石墨块（14），所述舟体（1）的前端底部设有至少一个前导电石墨块（14）；所述偶数石墨片（12）的后端底部设有向后伸出的后端下耳片（120），相邻的后端下耳片（120）之间贴合设有后端下隔块（16）或后导电石墨块（17），所述舟体（1）的后端底部设有至少一个后导电石墨块（17）。