Transfer unit and apparatus for treating a substrate with the unit Method for supplying a lubricant

摘要

본 발명은 반송 유닛과 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 윤활유 공급 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 가이드 부재와 상기 가이드 부재을 따라 이동 가능하도록 설치되며, 대상물을 반송하는 반송체를 지지하는 지지블럭과 상기 지지블럭을 이동시키는 구동기와 그리고 상기 지지블럭에 윤활유를 충전하는 충전부재를 포함하되 상기 충전부재는 내부에 윤활유가 채워지는 버퍼공간을 가지는 하우징과 상기 하우징과 상기 지지블럭을 연결하는 연결관과 그리고 상기 버퍼공간 내에 채워지는 상기 윤활유를 가압하여 상기 윤활유를 상기 연결관으로 공급하는 가압기를 포함하는 반송 유닛를 포함한다.