气体等离子体消毒及灭菌设备

摘要

一种灭菌或消毒系统，其中在脉冲中产生非热等离子体，其中微波频率能量的脉冲用于维持各等离子体脉冲，并且微波能量的各脉冲的可检测特性用于触发碰撞等离子体的射频碰撞脉冲。该系统包括碰撞信号产生电路，被布置为条件化和/或处理来自微波信号耦合器的信号，以形成可以作为脉冲的上升沿或振幅的基于可检测特性的控制信号。

主权项

一种等离子体灭菌设备，包括：微波腔体，可连接以从微波源接收微波频率辐射的脉冲；微波耦合器，被布置为将所述微波腔体之外的微波能量耦合至等离子体碰撞带，所述等离子体碰撞带具有通过其的气体流动路径；气体供给装置，可连接以将可电离的气体供应至所述气体流动路径；以及碰撞信号产生电路，被布置为将射频(RF)能量的脉冲传送至所述等离子体碰撞带，以在其中产生高电场来碰撞存在于所述气体流动路径上的可电离的气体中的非热等离子体，其中，所述碰撞信号产生电路包括控制电路，所述控制电路被布置为利用在所述微波腔体中接收的微波频率辐射的脉冲的可检测特性来触发所述RF能量的脉冲的产生。