一种微型COD在线检测系统

摘要

本发明属于传感器技术领域，特别是涉及一种由半导体工艺加工形成的微型COD传感器，及基于这种传感器的在线监测系统。系统由微型测试腔体、测量主机、光纤等部分组成。微型测试腔体通过热氧化与反应离子刻蚀等半导体工艺在Si衬底上形成，外壳采用PEEK材料。本发明的主要优点是：测试腔体体积小，可以深入各种测量场合；无需水泵吸水，减小污染物堵塞的可能性；光纤全反射传输，信号无衰减；腔体采用Si材料与PEEK材料为主体，耐腐蚀性高。此外，半导体工艺易于批量生产，一致性高，因此本发明有望促进紫外COD探测器在水质在线监控系统中的应用。

主权项

一种由半导体工艺加工形成的微型COD传感器，及基于这种传感器的在线监测系统，其特征在于：微型测试腔体(1)采用PEEK外壳与Si衬底，长期埋入被测水中，具有高度防腐的特性。