连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置、施体基板组

摘要

本发明的有机发光元件的连续式制造系统采用焦耳加热方式并利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机发光元件的连续式制造系统可以包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板，对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜，通过反复进行上述处理，能够减少有机物的损失，并能够缩短工序时间。

主权项

一种有机发光元件的连续式制造系统，其特征在于，包括：第一涂覆装置，用于在第一有机物用施体基板涂覆第一有机物；第二涂覆装置，用于在第二有机物用施体基板涂覆第二有机物；以及蒸镀装置，其与所述第一涂覆装置以及所述第二涂覆装置相连，对被搬送的所述第一有机物用施体基板施加电场，从而将所述第一有机物蒸镀到元件基板上，接着对所述第二有机物用施体基板施加电场，从而将所述第二有机物蒸镀到所述元件基板上。