发明名称 |
浮游粒子检测装置 |
摘要 |
浮游粒子检测装置(1)能够实现装置结构的简化且准确判别浮游粒子的种类,该装置具有包含激光发光元件(11)和反向监视用受光元件(12)的激光照射部(10)、选择性地接收在照射到浮游粒子(50)时产生的散射光中的预定偏振成分的光而生成第2检测信号的散射光受光部(20)、以及根据第1检测信号和第2检测信号判别浮游粒子的种类的判别处理部(30),入射到反向监视用受光元件(12)的入射光包含反向监视用激光(L0)和照射到浮游粒子(50)的照射激光(L1)的散射光(Ls)中的朝向激光照射部(10)的后方散射光(Lbs)。 |
申请公布号 |
CN106164643A |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
申请号 |
CN201580018544.3 |
申请日期 |
2015.02.19 |
申请人 |
三菱电机株式会社 |
发明人 |
中井贤也;竹下伸夫 |
分类号 |
G01N15/06(2006.01)I;G01N21/53(2006.01)I |
主分类号 |
G01N15/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
李辉;马建军 |
主权项 |
一种浮游粒子检测装置,其特征在于,该浮游粒子检测装置具有:激光照射部,其具有激光发光元件和反向监视用受光元件,该激光发光元件包含出射对存在浮游粒子的被检测区域进行照射的照射激光的前侧端面、和出射向该照射激光的行进方向的相反方向行进的反向监视用激光的后侧端面,该反向监视用受光元件配置在所述反向监视用激光入射的位置,生成与入射光的量对应的第1检测信号;散射光受光部,其选择性地接收在照射到所述浮游粒子时产生的所述照射激光的散射光中的预定偏振成分的光,生成第2检测信号;以及判别处理部,其根据所述第1检测信号和所述第2检测信号判别所述浮游粒子的种类,入射到所述反向监视用受光元件的所述入射光包含所述反向监视用激光、和照射到所述浮游粒子的所述照射激光的散射光中的朝向所述激光照射部的后方散射光。 |
地址 |
日本东京都 |