| 发明名称 | 一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构及设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构及设备，所述喷嘴片结构包括：喷嘴片面板；贯穿所述面板上表面及下表面的通孔；与所述通孔连通的液态金属引流槽；所述引流槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面；至少两条设于所述面板边缘且两端分别与所述引流槽、所述面板侧面连通的通气槽；所述通气槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面。本实用新型的喷嘴片结构可以针对不同结构和形状的微腔进行不同种类金属单质或金属合金的有效、快速填充，且喷嘴通孔位置不需要与填充片上待填充的微腔位置一一对应，从而大大提高了喷嘴片结构的普适性。 | ||
| 申请公布号 | CN205723491U | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201620614255.1 | 申请日期 | 2016.06.21 |
| 申请人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明人 | 顾杰斌;刘冰杰;李昕欣 |
| 分类号 | H01L21/768(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/768(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 刘星 |
| 主权项 | 一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于，所述喷嘴片结构包括：喷嘴片面板；所述面板包括上表面和下表面；贯穿所述面板上表面及下表面的通孔；与所述通孔连通的液态金属引流槽；所述引流槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面；至少两条设于所述面板边缘且两端分别与所述引流槽、所述面板侧面连通的通气槽；所述通气槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面。 | ||
| 地址 | 200050 上海市长宁区长宁路865号 | ||