| 摘要 |
살균 필름이 제공된다. 이 살균 필름은 박판 형상의 중간 전극부 및 중간 전극부에 전기적으로 연결되면서 외부와 전기적으로 접속하기 위한 중간 패드부를 포함하는 중간 전극층, 중간 전극층을 개재하되, 가요성을 갖는 상부 유전체 장벽층 및 하부 유전체 장벽층, 중간 전극층이 구비된 상부 유전체 장벽층의 하부면에 대향하는 상부면 상에 구비되되, 박판 형상의 상부 접지 전극부 및 상부 접지 전극부에 전기적으로 연결되면서 외부와 전기적으로 접속하기 위한 상부 접지 패드부를 포함하는 상부 접지 전극층, 중간 전극층이 구비된 하부 유전체 장벽층의 상부면에 대향하는 하부면 상에 구비되되, 복수의 관통 홀들을 갖는 다공 스크린 구조의 하부 접지 전극부 및 하부 접지 전극부에 전기적으로 연결되면서 외부와 전기적으로 접속하기 위한 하부 접지 패드부를 포함하는 하부 접지 전극층, 및 하부 접지 전극층을 덮는 하부 보호층을 포함한다. 중간 패드부와 하부 접지 패드부는 외부 전원에 전기적으로 접속하여 하부 접지 전극부의 다공 스크린 구조의 주위에 플라즈마를 형성한다. |
