流体控制器

摘要

本发明提供一种流体控制器，其抑制了因用于设定单元的部件追加、追加的加工而引起的成本的增加，消除了阀杆上方移动量的设定值变化的问题。形成为隔膜按压件(7)的外周缘部的上表面与按压接合件(15)的内周缘部的下表面隔着第1隙间(A)而对置。通过将第1隙间(A)设定为规定值而对隔膜按压件(7)向上方的移动量进行设定。

主权项

一种流体控制器，具备：主体，其设置有流体通路；壳体，其设置于主体的上方；隔膜，其对流体通路进行开闭；阀杆，其通过上升或下降而使隔膜向打开方向或者关闭方向移动；隔膜按压件，其固定于阀杆的下端部；按压接合件，其配置于隔膜按压件的径向外侧且固定于主体，并对隔膜的外周缘部进行保持；活塞，其与阀杆一体地上下移动；以及驱动单元，其使活塞上下移动，其中，将隔膜按压件的外周缘部的上表面与按压接合件的内周缘部的下表面之间设为第1间隙，根据所述第1间隙而对隔膜按压件向上方的移动量进行设定。