发明名称 一种半导体凸块制程用正胶去胶液
摘要 本发明涉及一种半导体凸块制程用正胶去胶液,包括如下质量百分比的成分水溶性有机溶剂35~60%,有机胺类10~50%,金属保护剂0.05~0.1%,表面活性剂0.05~0.1%,表面活性助剂0.01~0.04%,余量为纯水。本发明的正胶去胶液体系稳定性提高,使用寿命长,表面张力低,对微小缝隙处的光刻胶去除效果好;在有效清除胶的同时亦不会对半导体凸块基板金属层造成腐蚀。
申请公布号 CN106154772A 申请公布日期 2016.11.23
申请号 CN201610618064.7 申请日期 2016.08.01
申请人 江阴润玛电子材料股份有限公司 发明人 戈烨铭
分类号 G03F7/42(2006.01)I 主分类号 G03F7/42(2006.01)I
代理机构 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 代理人 孙燕波
主权项 一种半导体凸块制程用正胶去胶液,其特征在于:包括如下质量百分比的成分水溶性有机溶剂        35~60%,有机胺类              10~50%,金属保护剂            0.05~0.1%,表面活性剂            0.05~0.1%,表面活性助剂          0.01~0.04%,余量为纯水。
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