基于光纤MEMS法珀微腔的流速测试装置与测试方法

摘要

本发明公开了一种基于光纤MEMS法珀微腔的流速测试装置，测试管内有涡街发生体，测试管管壁设有内部有传输光线的光纤法珀传感器，光纤法珀传感器连有环行器，环行器连有光源和光学信号解调系统，光学信号解调系统连有线阵CCD相机、数据采集系统和信号处理单元。测试方法：测试管与被测管道连接，打开光源；流体冲击涡街发生体，产生涡街，测试管内壁的压力变化；光纤法珀传感器将压力变化转化为法珀腔长变化；光学信号解调系统将法珀腔长变化解调为光学信号的空间低相干干涉图样，线阵CCD相机转为电信号；经数据采集系统给信号处理单元，获取涡街脱离频率，计算出被测管道内流体流速。本发明避免了温度敏感问题，提高了流速测试精度。

主权项

一种基于光纤MEMS法珀微腔的流速测试装置，包括与被测管道相连接的测试管，所述测试管内部设置有涡街发生体，其特征在于，所述测试管管壁设置有与其相连通的内部固定有传输光线的光纤法珀传感器，所述光纤法珀传感器连接有环行器，所述环行器连接有光源和光学信号解调系统，所述光学信号解调系统依次连接有线阵CCD相机、数据采集系统和信号处理单元。