| 发明名称 |
CREATING DEFECT CLASSIFIERS AND NUISANCE FILTERS |
| 摘要 |
웨이퍼 상에서 검출된 결함들에 대한 분류기를 셋업하는 방법 및 시스템이 제공된다. 하나의 방법은 웨이퍼 상에서 검출된 결함들에 대한 결함 분류기를 위한 템플릿을 생성하는 단계와 템플릿을 트레이닝 데이터 세트에 적용하는 단계를 포함한다. 트레이닝 데이터 세트는 웨이퍼 또는 다른 웨이퍼 상에서 검출된 결함들에 대한 정보를 포함한다. 본 방법은 또한 상기 적용 단계의 결과들에 기초하여 결함 분류기에 대한 하나 이상의 파라미터들을 결정하는 단계를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160134740(A) |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
| 申请号 |
KR20167028337 |
申请日期 |
2015.03.16 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
KONURU RAGHAVAN;BHATTI NAEMA;LENNEK MICHAEL;PLIHAL MARTIN |
| 分类号 |
G06T7/00;G01N21/95;G06K9/62 |
主分类号 |
G06T7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
