一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃的连续精细抛光装置以及连续精细抛光方法

摘要

本发明提出了一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃的连续精细抛光装置以及连续精细抛光方法。该连续精细抛光装置包括：抛光机械和抛光液系统、平面托板、气浮动力系统、输送系统。该输送系统具有抛光段、气浮分离段以及准备段。

主权项

一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃的连续精细抛光装置，其特征在于包括：用于抛光超薄电子玻璃的抛光机械和抛光液系统；用于承载超薄电子玻璃的平面托板，其表面有10‑10000个气孔；用于向所述气孔供气的气浮动力系统；用于带动所述平面托板移动的直向输送系统，该输送系统安装在所述平面托板的下部，其中该直向输送装置上具有：抛光段，所述抛光机械和抛光液系统均位于该抛光段上，气浮分离段，该气浮动力系统的输出气管连接至位于该气浮分离段的平面托板的多个气孔，以及准备段，所述平面托盘从该准备段进入所述输送装置的上方。