| 发明名称 | 置入散色条于微影工艺的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种置入散色条于微影工艺的方法，该方法包括接收包含第一主要部件的集成电路设计布局，以及置入第一多个散色条于上述集成电路设计布局，以形成围绕于上述第一主要部件的第一环形图案的散色条。上述第一主要部件是设置于上述第一环形图案的散色条的一部分。本发明展现了改良聚焦深度、散色条印出窗口以及降低焦点位移。 | ||
| 申请公布号 | CN106158596A | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
| 申请号 | CN201510859640.2 | 申请日期 | 2015.11.30 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 何育如;洪爱真;谢弘璋;吕奎亮;张雅惠 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 李昕巍;赵根喜 |
| 主权项 | 一种置入散色条于微影工艺的方法，包括：接收包括一第一主要部件的一集成电路设计布局；以及置入多个第一散色条于该集成电路设计布局，以形成围绕于该第一主要部件的一第一环形图案的散色条，其中该第一主要部件是设置于该第一环形图案的散色条的一中央部分。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||