发明名称 结终端延伸结构及其制作方法
摘要 本发明公开了一种结终端延伸结构及其制作方法,包括:第一导电类型的集电区;位于所述集电区上的第二导电类型的漂移区,所述漂移区内具有第一导电类型的主结区、与所述主结区相连通的第一导电类型的延伸区、第二导电类型的截止环,所述延伸区与所述截止环不连通;所述延伸区是至少具有两个沟槽的连续分布区域,且所述沟槽的体积随距离所述主结区距离的增大而增大,用以实现,分压区域面积减小,节省了芯片面积,在相同面积的硅晶片上可以制作的器件就增多,缩减了芯片成本。
申请公布号 CN106158938A 申请公布日期 2016.11.23
申请号 CN201510166665.4 申请日期 2015.04.09
申请人 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 发明人 李理;马万里;赵圣哲
分类号 H01L29/739(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I 主分类号 H01L29/739(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 黄志华
主权项 一种结终端延伸结构,其特征在于,包括:第一导电类型的集电区;位于所述集电区上的第二导电类型的漂移区,所述漂移区内具有第一导电类型的主结区、与所述主结区相连通的第一导电类型的延伸区、第二导电类型的截止环,所述延伸区与所述截止环不连通;所述延伸区是至少具有两个沟槽的连续分布区域,且所述沟槽的体积随距离所述主结区距离的增大而增大。
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