发明名称 |
结终端延伸结构及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种结终端延伸结构及其制作方法,包括:第一导电类型的集电区;位于所述集电区上的第二导电类型的漂移区,所述漂移区内具有第一导电类型的主结区、与所述主结区相连通的第一导电类型的延伸区、第二导电类型的截止环,所述延伸区与所述截止环不连通;所述延伸区是至少具有两个沟槽的连续分布区域,且所述沟槽的体积随距离所述主结区距离的增大而增大,用以实现,分压区域面积减小,节省了芯片面积,在相同面积的硅晶片上可以制作的器件就增多,缩减了芯片成本。 |
申请公布号 |
CN106158938A |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
申请号 |
CN201510166665.4 |
申请日期 |
2015.04.09 |
申请人 |
北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
发明人 |
李理;马万里;赵圣哲 |
分类号 |
H01L29/739(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/739(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
黄志华 |
主权项 |
一种结终端延伸结构,其特征在于,包括:第一导电类型的集电区;位于所述集电区上的第二导电类型的漂移区,所述漂移区内具有第一导电类型的主结区、与所述主结区相连通的第一导电类型的延伸区、第二导电类型的截止环,所述延伸区与所述截止环不连通;所述延伸区是至少具有两个沟槽的连续分布区域,且所述沟槽的体积随距离所述主结区距离的增大而增大。 |
地址 |
100871 北京市海淀区成府路298号方正大厦5层 |