一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机

摘要

本实用新型公开了一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体和电池片入口，该刻蚀机主体顶部中间位置设有平行与电池片入口的中间挡板；中间挡板的两端分别垂直设有侧面盖板；刻蚀机主体平行于中间挡板的两个顶边上分别设有转动槽；转动槽内分别活动连接位于中间挡板两侧的盖板；刻蚀机主体内设有紧贴刻蚀机主体内侧壁的“日”字形引流槽。本实用新型自动回流原液，结构设计合理，不仅大大提高了生产效率，而且延长了机器使用寿命，提高了原液的利用效率。

主权项

一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体（1）和电池片入口（9），其特征在于：所述刻蚀机主体（1）的顶部中间位置设有平行与所述电池片入口（9）的中间挡板（4）；所述中间挡板（4）的两端分别垂直设有侧面盖板（8）；所述刻蚀机主体（1）平行于所述中间挡板（4）的两个顶边上分别设有转动槽（3）；所述转动槽（3）内分别通过连接件（6）活动连接位于所述中间挡板（4）两侧的盖板（5）；所述刻蚀机主体（1）内设有紧贴刻蚀机主体内侧壁的“日”字形引流槽（2）。