传感器元件及使用传感器元件的功率测量装置

摘要

本发明提供一种能够以简易且小型的结构来对高频电路、电池等的功率进行测定的各种薄膜传感器型功率测量装置。本功率测量装置具备：磁性膜，所述磁性膜被配置成与流过负载电流的初级导体相平行；供电部，所述供电部具有向所述磁性膜提供元件电流的输入输出端子；偏置磁场施加部，所述偏置磁场施加部施加相对于所述磁性膜的磁化方向平行或垂直或倾斜的直流磁场；以及检测部，所述检测部在所述元件电流的方向上检测所述磁性膜的端部之间的电压。该功率测量装置在元件电流的方向上仅检测所述磁性膜的端部之间的直流电压分量。

主权项

一种传感器元件，其特征在于，在一对传感器端子之间耦合2个磁性膜部而形成所述传感器元件，所述磁性膜部具有在磁性膜的长边方向上感应出的易磁化轴，在所述磁性膜的表面，形成相对于所述易磁化轴倾斜的多个导电膜，将所述导电膜的倾斜方向形成为在所述磁性膜部相互之间不同，在所述磁性膜部相互耦合的部分形成中心抽头电极。