成膜装置及成膜方法

摘要

本发明涉及一种成膜装置，其包括采用透明材质制成的收容治具，包括有有至少一个容置槽，所述至少一个容置槽用于收容待成膜的零件，所述至少一个容置槽的尺寸大于所述零件的尺寸；与所述收容治具相对的盖板，用于与所述收容治具相配合将所述零件收容于容置槽内；真空收容加压部，包括用于收容所述收容治具及盖板的真空腔体；以及紫外光固化部，所述紫外光固化部用于透过所述真空腔体及收容治具向所述容置槽提供紫外光线。本发明还涉及一种利用上述成膜装置的成膜方法。

主权项

一种成膜装置，包括：收容治具，所述收容治具为采用透明材质制作形成，所述收容治具内形成有至少一个容置槽，所述至少一个容置槽用于收容待成膜的零件，所述至少一个容置槽的尺寸大于所述待成膜零件的尺寸；盖板，与所述收容治具相对，用于与所述收容治具相配合从而将待成膜的零件收容于收容治具的容置槽内；真空收容加压部，包括用于收容所述收容治具及盖板的真空腔体，其中，所述真空腔体的侧壁及底壁透光；以及紫外光固化部，所述紫外光固化部用于透过所述真空腔体及收容治具向所述容置槽提供紫外光线。